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高溫無氧化烤箱

高溫無氧化烤箱

簡要描述:

高溫無氧化烤箱,半导体制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結構分爲:膛體組件、箱架組件和熱風組件三個部分,膛體腔,內表面全鏡面設計,風道由左、右、後導風板與箱體內壁組合而成,膛體頂部有排風管道。

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高溫無氧化烤箱簡介:

高溫無氧化烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結構分爲:膛體組件、箱架組件和熱風組件三個部分,膛體腔,內表面全鏡面設計,風道由左、右、後導風板與箱體內壁組合而成,膛體頂部有排風管道。
技術參數:
1. zui高温度:450℃;可自定义
2. 工作室尺寸:450×650×450mm(W×H×D);可自定义
3. 箱体数量:一个;可自定义两箱、四箱
4. 腔体材料:SUS304镜面不锈钢;
5. 加热元件:不锈钢加热器;
6. 热电偶:国产,K分度;
7. 空箱升温时间:每分钟5度,全程平均;
8. 空箱降温时间:300℃-90℃降温时间为1.5小时左右(采用鼓风冷翅片散热器或气体);
9. 记录仪:温度和氧含量无纸记录仪;
10. 氧含量-氧分析仪:
  高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
  低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量
11. 温度波动度:±1℃;
12. 温度均匀度:±5%(300℃平台);
基本配置:
1. 控制:每个箱体单独控温、通气、报警保护;
2. 排风口:一个;
3. 控温仪表:日本理化FP23温控仪;
4. 控温段数:20×20段;
5. 控温点数:一点;
6. 超温报警点数:一点;
7. 检测点数:三点;
8. 高温开炉门保护:当温度超过100℃,电子锁自动锁紧,防止高温开门
9. 报警保护:超温、断偶等声光报警保护;
10. 超温保护:独立感温式超温保护器;
11. 电机保护:电机过电流、过热保护;                      
12. 表面温升:<30℃;
13. 加热功率:15kW;   
14. 保温功率: ≤9kW;
15. 电源:容量大于80KVA,3相5线,220/380VAC,50Hz;

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