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无尘class100烘箱,MES接口無塵烘箱

无尘class100烘箱,MES接口無塵烘箱

簡要描述:

无尘class100烘箱,MES接口無塵烘箱用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療天天看片高清观看高潔淨度烘烤制程工藝

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无尘class100烘箱,MES接口無塵烘箱技術參數:

用途

用于IC,晶圓等電子、半導體、醫療天天看片高清观看高潔淨度烘烤制程工藝

溫度範圍

室溫+10℃~250℃

溫度波動度

恒溫溫度波動±0.5℃

溫度均勻度

≤±2℃

工作室尺寸(mm)

450(深)*450(寬)*600(高)(可自定)

潔淨度

Class100

氣體過濾

配有氣體過濾装置,保证腔体内潔淨度为100级

隔板要求

每個腔體配二個隔板,用不鏽鋼板沖孔制成

箱體外壁材料

冷軋鋼板靜電噴塑(或SUS304)

箱體內壁材料

爲不鏽鋼板內壁氩弧焊(SUS316或SUS304)

保溫材料

優質超細納米玻璃棉

氮氣接口

能將箱內空氣排出,確保烘烤的矽片是在氮氣中進行

控制方式

人機界面+PLC控制

氮氣流量

0.3~0.5M3/H(可選擇具有流量偏低/偏高報警功能,並實時監控記錄曲線)

超溫保護

采用独立的超溫保護装置,确保温度不超限;当保护装置动作时,超溫保護装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调

計時方式

溫度達到制程設定值後開始計時.

排風口

直径114mm的排風口,且安装有调节风阀

電氣安全保護

风机过载保护、加热系统超溫保護、电磁门锁保护、安全接地保护.

MES軟件

可連接MES系統

作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序,作業員只需確認是否正確

自動記錄作業累計次數,作業批號,作業人員,作業起止日期及時間,作業溫度曲線,作業條件,可自動生成Excel報表

有權限操作員需掃碼後才可操作此設備,且自動記錄作業人員

 

无尘class100烘箱,MES接口無塵烘箱用途: 

   無塵烘箱用于IC天天看片高清观看过程中极为重要的光刻工艺中预烘烤(软烘),脱水烘烤,涂胶后的坚膜烘烤(硬烘);也适用于电子液晶显示、柔性面板、LCD、CMOS、OLED、医药、实验室等天天看片高清观看及科研部门。

 

 

 

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