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HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱

HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱

簡要描述:

HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

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HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱主要用途:
      
在半導體生産工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,塗膠質量直接影響到光刻的質量,塗膠工藝也顯得尤爲重要。光刻塗膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而矽片表面的羟基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和矽片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和矽片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二矽氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS塗到半導體制造中矽片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面後,經烘箱加溫可反應生成以矽氧烷爲主體的化合物。它成功地將矽片表面由親水變爲疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
HMDS真空烤箱特點:
1、
具有MES接口,可連接MES系統;
2、有權限操作員需掃碼後才可操作此設備,且自動記錄作業人員;

3、作業時掃碼可實現自動調取所需作業程序,作業員只需確認是否正確;自動記錄作業累計次數;

4、作業批號,作業人員,作業起止日期及時間,作業溫度曲線,作業條件,可自動生成Excel報表。

MES系統功能:

爲企業生産管理人員進行過程監控與管理、保證生産正常運行,控制天天看片高清观看質量和生産成本提供了靈活有力的工具。
1、正確掌握在制品數量,及不良品的追蹤,降低在制品成本; 
2、 用条形码追踪天天看片高清观看序号,提高天天看片高清观看的售后服务水平; 
3、及時反應天天看片高清观看質量問題,追溯品質曆史,提高天天看片高清观看治理; 
4、 大幅减少现场手工作业,提高现场管理人员的天天看片高清观看力; 
5、充分掌握工具、設備的使用狀況,使制造資源高效運作; 
6、 强大的统计报表为企业管理决策提供实时、准确、可靠的天天看片高清观看数据,提高公司核心竞争力。
HMDS真空烤箱,MES系統HMDS烤箱技術指標:
1、內部尺寸(mm):350*350*350/450*450*450/550*550*65可定制尺寸

2、 材质: 外箱采用304不锈钢或优质冷轧板喷塑,内箱采用316L医用级不锈钢 

3、温度范围: RT+10-250℃

4、溫度分辨率:0.1℃ 

5、 温度波动度: ≤±0.5
?6 、真空度: ≤133pa(1torr) 

7、 洁净度: class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境 
?8、 电源及总功率:AC 220V、380V±10% / 50HZ         

9、 控制仪表:人机界面
?10、 擱板層數:2層 

11、 HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量 

12、 真空泵:旋片式油泵或进口无油泵 
?13、 保护装置: 低液位报警,HMDS藥液泄漏報警,超溫報警並斷開加熱,超溫保護,漏電保護,過熱保護等

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