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工业烘箱,工业無塵烘箱

工业烘箱,工业無塵烘箱

簡要描述:

工业烘箱,工业無塵烘箱用于半導體制造中預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生産及科研部門。

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工业無塵烘箱用途:

      用于半導體制造中預處理烘烤、塗膠後堅膜烘烤和顯影後的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生産及科研部門。

工业烘箱,工业無塵烘箱特點:
1.烘箱内部等级达到Class 100、Class 1000
2.全周氩焊,防機台本身所産生微塵;
3.采水平或垂直送风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100
4.強制送風循環方式雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到z佳溫度控制精度

工业烘箱,工业無塵烘箱技術參數:

1.主要技術指標:
 內箱材質:優質304不鏽鋼;

外箱材質:冷軋板噴塑或不鏽鋼;

无尘等级:Class 100、1000     

溫度範圍:RT+10250℃、300
溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;

進風口:φ6mmN2進氣、流量控制;  

 

氮氣烘箱

氮氣烘箱技術參數:      

1. 内部尺寸:800*800*1000(mm)

2. 内箱分层:三层

3.  溫度範圍:RT+10℃~250℃。

4. 温度波动:<±1℃。

5. 温度均匀:±1%(空载测试)。

6.溫控裝置:高精度P.I.D智能溫控儀表、P.I.D自動演算、時間定時。

7.内室材料:采用无磁性镜面不锈钢;外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) 。

8.保溫材料陶瓷纖維

9.特質複合式SUS304#不鏽鋼電熱産生器。

保護裝置:超溫保護器,無熔絲開關。

11. 進氣/排气:
進氣系统:数量1个,φ8mm

充氣壓力:0.01~0.02Mpa
流 量 計:氮气专用转子流量計
减 压 阀:進氣端配有氮气减压阀,充气压力指针显示

排氣系統:數量1個,φ50mm

 

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