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HMDS塗布機,HMDS塗膠烤箱
HMDS塗布機,HMDS塗膠烤箱

HMDS塗布機,HMDS塗膠烤箱用于光刻工艺中基板疏水化处理,HMDS涂布的原理,最常用的黏附剂是六甲基二硅胺烷(HMDS)。在提升光刻胶的黏附性工艺中,实际上六甲基二硅烷并不是作为粘结剂所产生作用的,而是HMDS改变了SiO2的界面结构,从而使晶圆的性质由亲水性表面转变为疏水性表面。

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HMDS鍍膜機设备
HMDS鍍膜機设备

HMDS鍍膜機设备。整个系统采用优质医用级316L不锈钢材料制作,无发尘材料,适用百级光刻间净化环境。

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HMDS塗膠系統,HMDS塗膠烤箱
HMDS塗膠系統,HMDS塗膠烤箱

HMDS塗膠系統,HMDS塗膠烤箱通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、液晶面板、显示器、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关天天看片高清观看。

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脱模剂蒸镀机,脱 模剂镀膜烤箱
脱模剂蒸镀机,脱 模剂镀膜烤箱

脫模劑蒸鍍機,脫模劑鍍膜烤箱應用于半導體,光電、電子天天看片高清观看矽片、砂紙或石英硬模板等材料。

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氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣澱積系統
氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣澱積系統

氣相成底膜烤箱,HMDS蒸氣澱積系統用于除去硅片表面的污染物(颗粒、有机物、工艺残余、可动离子),除去水蒸气,使基底表面由亲水性变为憎水性,增强表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。

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可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機
可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機

可程式HMDS蒸鍍設備,HMDS真空鍍膜機通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性.

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HMDS鍍膜機
HMDS鍍膜機

HMDS鍍膜機通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

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